无论是航天器的组装、大规模集成电路的生产,还是精密机械、制药行业,洁净的环境都是必需的工艺条件。而每个工序点洁净度的实时监测,是保障生产场所环境满足工艺要求的一项关键技术。
利用单台尘埃粒子计数器移动测量周围环境的洁净度,是国内常用的技术方法。而国际上最新发展的是多点式洁净度监测系统,如LIGHTHOUSE、MET ONE公司的产品。
苏州苏净仪器自控设备有限公司自主开发研制的多点式在线洁净度监测系统为国内首创,其主体为激光尘埃粒子计数器,软件系统包含多点数据采集、数据显示、数据分析、参数设置和超限报警等五大关键技术。
多点式洁净度监测系统使用最新光学粒子技术,可在任意场所设置安装 ,真正实现在线监测(连续24hour×7day操作);同时测量所有通道数据,符合JIS标准;设备监视系统接口具有状态指示器,使大型设备监视/管理系统成为整体。
技术指标:
1. 符合尘埃粒子计数器标准: JJF1190-2008
2. 流 量:2.83 升/分(0.1cfm)
3. 测试粒径:0.3µm,0.5µm,1.0µm,3.0µm,5.0µm,10µm(判别粒径为0.5µm,5.0µm)
4. 光源:激光二极管
5. 测试范围:100级~30万级
6. 信号传输距离:〈1.2KM〉
7. 电源:DC24V
8. 超限报警:设置每个粒径档的上限颗粒数,超限报警。
本系统使我国在该技术领域的水平能够达到ISO14644-1国际标准的要求,真正实现与国际接轨。